培训内容:
1:COMSOL基础与压阻MEMS功能
COMSOL工作流与核心基础功能
COMSOL Multiphysics 建模工作流详解(几何、材料、物理场、网格、研究、后处理)。
用户界面(UI)介绍与基本操作。
参数化建模基础:使用参数、变量和函数定义几何与材料属性。
几何建模:comsol自建几何,cad导入,高级cad操作(如拆分,虚拟操作等)
网格:结构化和非结构化网格,网格质量评价和网格数量
后处理
MEMS模块与结构力学基础
MEMS模块的功能概览与典型应用场景。
压阻效应原理以及COMSOL中预制功能
压阻材料属性和边界条件详解
压阻MEMS梁/膜结构单物理场实操
案例演示和讲解:构建一个典型的压阻式微悬臂梁或压力传感器膜片模型。
几何创建与材料。
施加机械载荷(压力或集中力)并设置电学边界(接地与终端)。
求解并提取关键结果:应力分布、变形量及压阻引起的电阻相对变化量。
2:压阻MEMS器件多物理场耦合以及真实结构仿真
热-力-电多物理场耦合
压阻MEMS器件中的自热效应与热应力分析。
添加“焦耳热”与“热膨胀”多物理场耦合。
分析温度变化对压阻传感器零点漂移和灵敏度的影响。
案例演示
与外部电路的联合仿真
1:COMSOL软件基础与MEMS模块入门
2:MEMS模块基础
多物理场耦合与电路联合仿真
MEMS器件与外围电路(如惠斯通电桥)的耦合求解。
使用“电路”接口或SPICE网表导入功能。
案例演示
综合实战与Q&A
客户实际案例:针对实际几何和工况条件建立完整模型
结果输出:应力,电性能相关结果
课程总结与自由问答。